全世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
FFU為英文縮寫，全稱為Fan Filter Units, 中文意思為"風機濾器單元（機組）"。也就是將風機和過濾器（高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA））組合在一起構成自身提供動力的末端凈化設備。確切地說是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。