目的：通過檢測高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷，如濾材中的小針孔，連接密封部位的縫隙等，以便及時采取補救措施。

范圍：適用于潔凈廠房高效、亞高效過濾器泄漏的檢查。

職責：工程部

規程：

1 測試方法：塵埃粒子計數掃描巡檢法。

2 測試范圍：對于10000級至300000級潔凈度要求的層流或亂流潔凈室。包括：層流工作臺、層流罩，以及設備上的高效（亞高效）過濾器。必須在現場對以下部位進行掃描巡查。

2.1 過濾器的濾材。

2.2 濾材與其框架內部的連接。

2.3 過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間的連接。

2.4 支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接。

3 檢測儀器

3.1  Y09-4型塵埃粒子計數器。

4 原理

 根據浮游粒子在一定強度的光照射下所散射出與其粒徑成一定比例關系的光通量原理，粒子散射光經光電轉換變成電信號，經放大和計算機處理后被顯示器顯示粒子當量直徑和相應粒子數量。

5 檢測程序：

5.1 被檢漏過濾器必須已測過風量，在設計風速的80~120%之間運行。

5.2 用塵埃粒子計數器采樣頭掃描過濾器的出風側。采樣頭離過濾器距離約2~3cm，以5~20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠、和安裝框架處進行掃描。

5.3 當周期為2min時，0.5μm粒子數≥20粒/L，表明泄漏量超標，需要修補或更換。

5.4 用環氧樹脂膠堵漏或緊固螺栓后，再進行掃描巡檢。

6 檢測頻度

6.1 在安裝或更換高效過濾器時應進行檢測。

6.2 正常使用情況下，每年至少檢測一次。

7 被檢過濾器要填寫“高效、亞高效過濾器檢測記錄” 

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